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集成电路对纯水水质的要求


集成电路(DRAM)集成度
16K
64K
256K
1M
4M
16M
相邻线距(μm)
4
2.2
1.8
1.2
0.8
0.5
微粒
直径(μm)
0.4
0.2
0.2
0.1
0.08
0.05
个数(PCS/ml)
<100
<100
<20
<20
<10
<10
细菌(CFU/100ML)
<100
<50
<10
<5
<1
<0.5
电阻率(μs/cm,25℃)
>16
>17
>17.5
>18
>18
>18.2
TOC(ppb)
<1000
<500
<100
<50
<30
<10
DO(ppb)
<500
<200
<100
<80
<50
<10
Na+(ppb)
<1
<1
<0.8
<0.5
<0.1
<0.1
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